S
sacrificial film layers  1040
sales volume  1093
SAM (self-assembled monolayer)
---  165 ,  176 ,  178 ,  622 ,  1088
- coating  1075
- melting point of  853
- modified surface  620
sample holder  416
sandwich immunoassays  270
sandwiched molecules  26
saturated calomel electrode  24
saturated hydrocarbons  835
scale-dependent surface tension  614
scaling factor  975
scan
- area  335
- direction  345
- frequency  335
- head  417
- range  359 ,  360
- rate  329
- size  337
- speed  360
scanner, piezo  436
scanning
- acoustic microscopy (SAM)  663 ,
---  692
- capacitance microscopy (SCM)
---  326
- chemical potential microscopy
--- (SCPM)  326
- electrochemical microscopy
--- (SEcM)  326
- electron microscope (SEM)  110 ,
---  373 ,  521
- electrostatic force microscopy
--- (SEFM)  326
- head  328
- ion conductance microscopy
--- (SICM)  326
- Kelvin probe microscopy (SKPM)
---  326
- lateral range  929
- local-acceleration microscopy
--- (SLAM)  663
- magnetic microscopy (SMM)  326
- nanoindentation (SN)  674
- nanoindenter  662
- near field optical microscopy
--- (SNOM)  326
- polarization force microscopy
--- (SPFM)  615
- speed  335
- system  359
- thermal microscopy (SThM)  114 ,
---  326
- tunneling microscope (STM)  385 ,
---  396 ,  450 ,  498 ,  922
- tunneling microscopy (STM)  114 ,
---  325 ,  371 ,  382 ,  397 ,  899
- tunneling probe  114
- velocity  519
scanning force
- acoustic microscopy (SFAM)  326
- microscopy (SFM)  326 ,  433 ,  663 ,
---  884
- spectroscopy (SFS)  433
scanning probe
- lithography  186
- methods  606
- microscope (SPM)  326
- microscopy (SPM)  371 ,  385 ,  612 ,
---  663 ,  899
schematic diagram of T-SLAM  663
Schottky diode  132
scission  622
scope of therapeutic nanodevices
---  285
scratch
- critical load  824
- damage mechanism  818 ,  819
- depth  771 ,  773 ,  1000
- depth profile  773
- drive actuator  1031
- profile  519
- resistance  765 ,  771 ,  853 ,  1001
- test  520 ,  814
scratch-induced damage  813
scratching measurement  325
SCREAM  161
screen printing  193
sealing  1112
second anodization  100
secondary signaling drug delivery
---  301
Seebeck coefficient  123 ,  133
seek
- control  976
- time  901
selected area electron diffraction
--- (SAED)  111
selective electrodeposition  108
self-actuation voltage  1062
self-aligning optical system  236
self-assembled
- growth  420
- microscopic vesicles  834
- monolayers (SAMs)  27 ,  165 ,  176 ,
---  187 ,  476 ,  536 ,  606 ,  618 ,  703 ,  833 ,
---  839 ,  861 ,  1003,  1004
- nanoparticles  312
- nanotube bunches  58
- structures  291 ,  310
self-assembled monolayer (SAM)
- patterned  188
self-assembly  131 ,  147 ,  170 ,  173 ,
---  176 ,  178 ,  179 ,  288
- in biological systems  740
- of nanostructures  289
- of organic layers  23
self-enhancing instability  458
self-excitation
- modes  461
- scheme  464
self-lubrication  652 ,  653
self-regulation of a therapeutic device
---  302
self-replicating nanobot  1146
self-tuning control  974 ,  976
semibiological nanodevices  281
semiconductor  103 ,  391
- economics  1086
- quantum dots  428
- surface  392
- SWNT  74 ,  85
semimetallic nanowire  118
semimetal-semiconductor transition
---  118 ,  123
sensing
- channel  303
- element  227
- modalities of therapeutic
--- nanotechnology  302
sensing devices
- biological  137
- chemical  137
sensitivity  356 ,  357 ,  390 ,  467 ,  479 ,
---  633 ,  972
sensitizer  30
sensor  233
- and effector communication
---  283
- applications  117
- noise  975
- systems  302
- transducer interface  304
sequential logic circuits  20
sequential microfluidic manipulation
---  268
servo
- demodulation  945
- field  943
- loop  943
- self-writing  945
servo control design  968
sessile-drop  832
SFA (surface forces apparatus)  884 ,
---  894 ,  1011
- measurement  613
SFM (scanning force microscope)
---  884 ,  888 ,  890 ,  894
- shear force experiments  893
shallow indentation measurement
---  679
shape memory alloys (SMA)  260
sharpened metal wire tip  382
shear
- energy  887
- force see kinetic friction, static
--- friction
- melting  570 ,  586
- modulus  633 ,  933
- rate  866
- strength  646
- stress  850 ,  887
- thinning  581 ,  583 ,  584 ,  589
shear flow
- damping  1073
- detachment (SFD)  479
shear stress
- critical  571 ,  572 ,  577 ,  585 ,  586
- effective  648
shearing force  848
shearing interface  721
shear-melting transitions  734
SH-group  476
short-cut carbon nanotubes  428
short-range
- chemical force  437 ,  464
- chemical interaction  402
- contribution  386
- electrostatic attraction  399
- electrostatic interaction  398
- energy dissipation  468
- interatomic force  455
- magnetic interaction  397 ,  402 ,
---  403
shot noise  355
Shubnikov-de Haas quantum
--- oscillatory effect  122
shuttle
- displacement  957
- finger  956
Si  373 ,  375 ,  619
- adatom  393
- cantilever  373 ,  458 ,  465
- MEMS  247 ,  985
- nanobeam  773 ,  781 ,  785
- stamp  190
- tip  374 ,  392
- trimer  395
- wafer  373 ,  459 ,  619
Si(001)2?1  394
Si(001)2?1-H surface  394
Si(100)  515 ,  520 ,  614 ,  818 ,  820 ,
---  862 ,  867 -869,  875 ,  877 ,  878 ,  995 ,
---  1012
- wafer  863
Si(100)2?1:H monohydride  393
Si(111)  519 ,  527 ,  848 ,  850 ,  999
Si(111) surface  404
Si(111)v3?v3-Ag  395 ,  396
Si(111)(7?7)  434 ,  468 ,  640
Si(111)(7?7) surface  389 ,  397 ,
---  462 ,  639
Si(OH)4 film  1013
Si3N4  375 ,  501 ,  619
- based tip  619
- cantilever  373
- layer  373
- tip  341 ,  374 ,  531 ,  841 ,  848 ,  866 ,
---  871 ,  880
Si-Ag covalent bond  397
Si-based devices  764
SiC  995
- bulk properties  995
- film  770
signal
- distribution  1112
- transduction  20
silane (SiH4)  206
silica
- thermally grown  840
silicon  332 ,  356 ,  388 ,  610 ,  693 ,
---  705 ,  1111
- AFM tip  478
- cantilever  387 ,  633
- chemistry  478
- crystalline  254
- dioxide (SiO2)  254
- dioxide layer  31 ,  33
- FET  303
- fractures  777
- fusion  1118
- grain  1035
- membrane  263
- MEMS  1095
- micromachining  227
- micromotor  866
- oxide  106 ,  477
- surface  477
- tip  392 ,  434 ,  463 ,  635
- wafer  25 ,  27 ,  186 ,  189 ,  228 ,  286 ,
---  453 ,  614 ,  930
silicon nitride (Si3N4)  254 ,  332 ,
---  477 ,  610 ,  615 ,  913 ,  964 ,  968
- cantilever  372
- layer  1117
- tip  375 ,  635
silicon-based MEMS sensor  229
silicon-based mold masters  255
silicon-on-insulator (SOI)  205 ,  241 ,
---  964
- substrates  247
silicon-only wafer  965
silicon-on-silicon contact  1012
silicon-silicon bonding  1096
silicon-terminated tip  435
silicon-to-glass fusion bonding
---  1120
siloxane  833
simultaneous imaging  397
- of a TiO2(110) surface  401
single asperity  646
- AFM tip  868
- contact  517 ,  1012
- size of  722
single bond  622
single crystal
- aluminum (100)  522
- nanowires  104
- Si(100)  770 ,  862
- silicon  504 ,  964 ,  995 ,  1024
- silicon cantilever  341 ,  611
- wafers  204
single crystalline iron  675
single domain magnetic  138
single magnetic flux quantum  122
single molecular motor  480
single molecule
- assays  743
- biology  743
- detection  477
- experiment  760
- studies  485
single particle model  894
single point sensor  1091
single protein therapeutics  281
single receptor-ligand pair  480
single stranded DNA (ssDNA)  746
single-input-multi-output (SIMO)
---  956
single-input-single-output (SISO)
---  969
single-layer
- beam  1044
- film  1050
single-particle wave function  422
single-stranded nucleic acid molecule
--- (SSNA)  302
single-wall carbon nanotube
--- (SWCNT)  34 ,  40 ,  289 ,  315 ,  342 ,
---  376 ,  668
single-wall nanocapsule  49
singularity in joint density of states
---  134
sink-in  693 ,  699 ,  700 ,  709 ,  711
- behavior  674
sintering  553
SiO2  54 ,  373 ,  375 ,  531 ,  615
- film  770
- nanobeam  773 ,  774 ,  785
- thin films  205
SiOH groups  478
Si-SiO2 stress formation  375
SISO  973
- design  969
site-specific drug delivery  298
Si-wafer  460
SLAM  663
slider  952
sliding
- contact  651
- direction  585
- distance  587
- friction  734
- of tip  632
- speed  889
- velocity  574 ,  585 ,  644 ,  884
SLIGA  168
s-like tip states  422
slip distance  732 ,  889
slipping and sliding regimes  586
SMA (shape memory alloys)  260
- actuation schemes  260
- driven micropumps  261
small angular deflection  1068
small specimens handling  1025
SMANCS
--- (S-Methacryl-neocarzinostatin)
---  309
- albumin complexes  309
smart media card  905
smart plastic biochip  273
smooth sliding  585
snap-in process  609
SnO2(110)  400
soap-like lubricants  887
social
- perception  1145
- services  1142
societal impacts  1136
socio-technical trends  1141
soft
- cantilever  453
- coatings  708
- lithography  833
- polymer stamps  190
SOI wafer  1096
solar furnace
- devices  52
- method  61
solder bonding  1115,  1118
solid boundary lubricated surfaces
---  571 ,  572 ,  576 -578,  587 ,  588
solid solution catalyst  55
solid xenon  436
SOLID95  779
solidification  578 ,  582
solid-like
- behavior  593
- Z-DOL(BW)  866
solution-phase synthesis  107
solvation
- effect  621 ,  623
- forces  545 ,  557 ,  558 ,  561 ,  567
sonolubrication  513
soot  46
SP  815
spacer chain  839 -841
- length  844
spark plasma sintering (SPS)  81
spatial variation curvature  1058
specific accumulation of
--- nanoparticles  311
specificity  752
spectroscopic resolution in STS
---  419
speed-energy product  1073
spin
- casting  192
- coating  887
- density waves  431
- quantization  423
spin-on-glass  965
spiropyran  18
SPM (scanning probe microscopy)
---  73 ,  372
- methods  672
- tip  452
spreading
- dynamics  892
- profile  892
spring
- sheet cantilever  341
- system  327 ,  929
spring constant  377 ,  387 ,  390 ,  393 ,
---  433 ,  450 ,  451 ,  469 ,  480 ,  483 ,  611 ,
---  633 ,  671 ,  911 ,  956 ,  1030,  1067
- calculation  347
- changes  415
- effective  637 ,  645 ,  721
- lateral  338 ,  636
- measurement  346
- torsional  1068
- vertical  338
sputtered coatings
- physical properties  804
sputtering
- deposition  799
- power  805
sp3 bonding  806
sp3-bonded carbon  813
squeeze film damping  248 ,  1073
SRAM
- cells  1088
- CMOS static random access
--- memory  235
SrF2  398 ,  399
SrTiO3  402
SrTiO3(100)  400 ,  401
stability
- mechanical  927
stabilization  1065
stable field performance  1102
stainless steel cantilever  813
stamp
- Au coated PDMS  192
- Au/Ti coated  191
- composite  188
- depth  190
- fabrication  186
- mechanical properties  187
- positioning  195
standardization  249
static
- advancing contact angle (SACA)
---  847
- AFM  388 ,  469
- charge  1103
- deflection AFM  450
- friction  571 ,  576 ,  579 ,  583 ,
---  585 -587,  589 ,  590 ,  593 ,  718 ,  731 ,
---  1034
- friction force  722 ,  866 ,  1014
- interactions  544 ,  584
- mode  387 ,  433 ,  453
- mode AFM  354
statistical fluctuation model  889
statistical kernels  891
steady-state sliding see kinetic
--- friction
steady-state velocity  733
step tilting  855
stepping motor  636
stereoelectronic properties  12
stick slip  592
sticking regime  586
stick-slip  571 ,  576 ,  579 ,  583 -585,
---  587 ,  590 ,  876 ,  885 ,  886 ,  889 ,  894
- mechanism  636
- motion  732
stiction  579 ,  832 ,  885 ,  991 ,  1088,
---  1103
- phenomena in micromotors  1016
- suppression  1103
stiffness  390 ,  663 ,  819
- torsional  349
stiffness coefficient
- elastic  1048
stiffness measurement
- continuous (CSM)  810
STM (scanning tunneling
--- microscope)  173 -176,  325 ,  397
- cantilever  330
- cantilever material  339
- principle  327
- probe construction  330
- tip  325 ,  417
stoichiometry of compound
--- nanowires  115
Stokes’s equation  933
Stone-Wales defect  62 ,  68
Stoney equation  1024
storage
- capacity  946
- drive industry  902
- field  943
- modulus  702
- surface topography  942
strain
- energy  609
- energy difference  810
- engineering  147 ,  170
- theory  1144
- thermally induced  1125
- transformation  1041
strain-displacement relation  1049
stray capacitance  357
strength  1023
streptavidin  478
- mutants  484
stress  751 ,  930 ,  1023
- activation volume  887
- component  1043
- distribution  779 ,  1049
- field  1024
- gradient  1026
- maximum  1027
- measurement  1025
- relaxation  1060
- singularity  1043
- tensor  759
- transformation  1044
- uniaxial  1042
stresses within the capsid walls  758
stress-strain
- behavior  1028
- curve  671 ,  784
- relation  1048
stress-temperature response  1060
stretch modulus  751
Stribeck curve  569 ,  584 ,  884
strip domain  439
structural
- characterization  110
- entropy  886 ,  887
- forces  545 ,  557 ,  559 ,  566
- integrity  764
- material  1028
structurally programmable
--- microfluidic system (sPROMs)
---  264
structure factor  730
structuring of simple liquids  886
SU-8 resist  929
sub-Angstrom deflections  372
subcontractor  1087
subculture theory  1145
sublimation  52
submicron
- electron-beam lithography  246
- ICs  247
- lithographic techniques  246
submonolayer
- coverage  864
- lubrication  731
subnanometer precision  10
sub-nanonewton precision  452
substrate  839 ,  840
substrate curvature technique  1024
substrate-slider interactions  727
subsurface water irrigation  676
super modulus  691
supercapacitor  85
superconducting
- gap  431
- magnetic levitation  327
- matrix  440
superconductivity  419
superconductors  103 ,  429
- type-I  431
- type-II  431
superficial nanotechnology aspects
---  1140
superlattice
- nanowire  103 ,  114
- structure  108
superlubricity  642
superparamagnetic materials  305
superparamagnetism  138
superstructures of nanowires  108
supramolecular
- assembly  17
- forces  35
surface
- adsorption  263
- amorphous  544
- asperity effect  513
- atom layer  388
- band  423
- barrier potential height  890
- charge  557 ,  621 ,  1074
- charge density  555 -557
- chemistry  190 ,  296
- crystalline  544
- diffusion  190
- effects  129
- elasticity  529
- energy  619 ,  792 ,  1088
- energy (tension)  547 ,  552 ,  566 ,
---  567 ,  572 ,  574 ,  578
- forces  544
- forces apparatus (SFA)  479 ,  498 ,
---  546 -548,  552 ,  576 ,  585 ,  588 ,  606 ,
---  717 ,  731 ,  884
- free energy  745 ,  746
- hydrophobic  544 ,  560
- micromachined accelerometers
---  231
- micromachining  163 ,  226 ,  229
- micromechanical properties  498
- microtribological properties  498
- mobility  865
- nanomechanical properties  498
- nanotribological properties  498
- passivation  1102
- potential  419 ,  555 -557,  798
- potential measurement  503
- slope  844
- state lifetime  423
- stiffness  506
- structure  111 ,  400 ,  544 ,  558 ,  559 ,
---  566 ,  567 ,  570 ,  586 ,  591
- tension  265 ,  516 ,  618 ,  832 ,  846 ,
---  862
- terminal group  839
- topography  632 ,  778 ,  901
- transfer chemistry  190
- treatment  1104
surface roughness  383 ,  674 ,  678 ,
---  724 ,  773 ,  778 ,  844 ,  942 ,  997 ,  1009
- map  510
- measurement  500
surface-mounted biofilter  272
surfactant monolayers  547 ,  564 ,
---  568 -570,  577 ,  580 ,  584 ,  585 ,  588
surfactants  103 ,  107
surgical resection  307
suspended membrane  1028
suspension  967
- vibration  959
suspension-level fabrication  967
sustainable internal pressure
- maximum  759
sustained drug delivery  269
switch
- two-state  19
switch design  1062
switches
- molecule-based  15
- monolayer  28
switching
- architecture  238
- devices  15
- energy  135
- speed  135
- time  1073
SWNT (single wall nanotube)  40 ,
---  52
- adsorption properties  63
- based FET  85
- based materials  64
- catalyst-based  61
- conductance  75
- electronic structure  66
- epoxy composite  82
- flexural modulus  67
- magneto-resistance  67
- matrix interaction  82
- production techniques  45
- rope  668 ,  670
- structure  41
- surface area  64
- tensile strength  67
- thermal conductivity  66
SWNT-PMMA composite  83
symmetric deformation mode  1054
sync pattern  946
synchronization  945
synthesis  100
- reactor  47
- yield  47
synthetic
- devices  281
- nanoporous membrane  313
- readback signal  941
system
- underdamped  894
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