P
package level integration  1093
packaging  248 249
- cap  1112
- equipment  1099
- induced thermal stress  1123
- reliability  1125
- uniform  1112
packing density
- chains  842
palladium nanowires  137
PAMAM (polyamido amine)
--- dendrimer  286 287
p-aminophenyl phosphate (PAPP)
---  271
paper-like displays  193
paraboloid load displacement  697
paraffins  835
parallel-plate
- actuator  955
- capacitor model  1064
- sensing  957
paramagnetic particles  305
parasitic charging  1077
particle
- contamination  1098
- control  1098
- opsonized  296
- track-etched mica films  103
particle model
- embedded  894
Paschen curve  1076
passive
- check valves  262
- linearization  361
- microfluidic device  257 269
- microfluidic dispenser  273
- microfluidics  262
- micromixers  265
- micropump  269
- microvalves  257 262
- structure  1025
- valve geometry  264
patient-monitoring systems  274
pattern of ink  186
pattern transfer  191
patterned
- conductive substrate  110
- film  1053
- self-assembled monolayer (SAM)
---  188
- silicon chip  25
patterning  1075
Pb on Ge(111)  428
PbI2 filled SWNT  70
PDP (2-pyridyldithiopropionyl)  478
peak indentation load  810
peapods  71 289
PECVD (plasma enhanced chemical
--- vapor deposition)  833 926 1009
- carbon sample  800
PEG (polyethylene glycol)
- crosslinkers  479
pegylated molecules  313
Peierls instability  428
per molecule adhesion force  620
perfluorodecanoic acid (PFDA)  992
perfluoropolyether (PFPE)  530 861
perfluoropolyether Z-DOL  614
performance of electromechanical
--- actuator  1075
performance parasitics  1098
periodic
- force  725
- potential  637 891
permanent dipole moment  407
perpendicular scan  344
persistence length  488
perturbation approach  390
perylene  404
PES (photoemission spectroscopy)
---  956
- generation  944
- loop compensator  973
PFPE (perfluoropolyether)  864 ,
---  1012
- lubricant  862 868 1003 1016
- OH  892
pH of water environment  619 621
pH sensor  137
phage display  297 298
pharmacoeconomics  285
phase
- angle image  530
- breaking length  120
- curve  458
- images  470
- lag spectrum  666
- measurement  471
- signal change  458
- transformation  690 705
phase change
- material  915
- medium  922
- RAM (PC-RAM)  899 906
phenol  837
phenoxy-centered HOMOs  26
phonon
- confinement effects  125 127 131
- excitation  468
- scattering  120
phosphorus-doped polysilicon
---  206
photoacid  19
photoactive
- fragments  14
- solids  22
- stopper  14
photo-conductance  128
photo-crosslinker  478
photodetector sensitivity  766
photoemission spectroscopy (PES)
---  423
photogenerated hole  30
photoinduced electron transfer  16 ,
---  17
photoinduced proton transfer  19
photolithography  285
- near-field conformal  187
- proximity mode  186
photolithography patterns  186
photo-luminescence (PL)  127 135
- optical imaging  128
photoresist  188 190 1095 1121
photothermal effect  465
physical properties of nanowires
---  110
physical vapor deposition  104
physisorbed protein layer  476
physisorption  861
pick-up
- SWNT tips  382
- tip method  381
pico-slider  960
piezo
- ceramic material  360
- effect  359
- element  461
- excitation  454
- hysteresis  415
- relaxation  415
- stacks  361
- tube  359
piezoelectric
- actuation  259
- actuator  908
- drive  327
- leg  636
- positioning elements  414
- scanner  372 415 676
piezoresistive
- cantilever  355
- coefficients  356
- detection  355 387
- pressure sensor  1089
- sensing  958
- sensor  227
piezoscanner  363 382
piezotranslator  363
piezotube calibration  329
pigment particles  195
pile-up, nanoindent  693 699 700 ,
---  709 711
- characteristic  935
piling-up behavior  674
pilot signal  945
pinning  441
- forces  727
pin-on-disk tribotester  841
PL (photoluminescence) NSOM
--- imaging  135
plane-to-plane separation  12
plasma
- etch  286
- frequency  127
- resonance  127
plasma enhanced chemical vapor
--- deposition (PECVD)  197 339 ,
---  770 795 799
plasminogen activator (PA)  302
plasmon mode  421
plastic
- asperity model  884
- circuit  193
- contact regime  517
- deformation  522 728 812 854
- electronics  197
- fluidic chips  273
- large area circuit  194
- packaging  1099
plasticity  1060
platelet nanofiber  60
platform  929
- fabrication process  930
platinum-iridium  330
- tip  29
PMMA (poly(methyl methacrylate))
---  247 257 671 924 933 936 994
p-n
- diodes  116
- junction diode  132
- junctions  132 135
pneumatic
- actuation  258
- damping  418
p-nitrophenolate  19
point probes  688
Poisseuille flow  885
Poisson statistics  620
Poisson’s ratio  698 1047
polar
- group  838
- lubricant  832 861
polarization dependence  129
polishing  793 1000
poly(amido) amine (PAMAM)
--- dendrimer  286
poly(ethylene glycol) (PEG)  477
poly(ethyleneterephthalate) (PET)
---  192
poly(methyl methacrylate) (PMMA)
---  247 257 671 924 933 936 994
polyaromatic shells  63
polycarbonate (PC)  257
polycrystalline
- films  210
- graphite  801
- Si  226
- SiGe  210
polydimethylsiloxane (PDMS)  187 ,
---  834
polyethylene (PE)  257
polyethylene co-propylene  886
polyethylene terephthalate (PET)
---  524
poly-Ge
- mechanical properties  210
polymer  255 610 664 910
- blend  471 662
- brush  563 575 581
- chemistry  286 291
- conjugation (pegylation)  296
- fluids  892
- intermediates  287
- matrix composites  82
- medium  932
- melt  886
- membranes  103
- microfabrication techniques  255
- microstructures  257
- mushroom  562
- nanojunction  32
- properties  263
- therapeutics  307
- transparent microcapsules  195
polymeric
- liquids (melts)  561 581 583
- magnetic tape  526
polypeptides  10
polypropylene  404 471
polysilicon  963 967 1010 1040
- beam  1044
- fatigue  1036
- film  229 995 1027
- fracture strength  1036
- fracture toughness  1035
- friction  1036
- layer  263
- mechanical properties  1034
- MEMS  206
- microstructure  1035
- residual stress  1034
- resonators  245
- strip  245
- surface micromachining  210
- Young’s modulus  1035
polystyrene (PS)  257 936
polysulfone  936
polytetrafluoroethylene (PTFE)
---  639
polyurethane  471
poor mixing  889
pop-ins  690
pop-outs  690
population explosion  1141
porous
- silica or alumina  120
- vycor glass  102
position
- accuracy  363
- error  972
- error signal (PES)  943 968
- sensing resolution  957
positioning  109
positive logic convention  18 26
post-packaging process  1118
potential barrier  887
potential energy
- total  720
power dissipation  237 470 654
power to weight ratio  752
PQ design method  970
Prandtl-Tomlinson model  725 -727
pre-crack length  1027
precursor  56 69 70
- gases  210
preferential flow direction  261
preparation improvements  54
pressure  871
- injection  104
pressure sensor  227
- fabrication process  1090
- packaging  1099
pressure-induced phase
--- reconstruction  888
primary minimum adhesion  544 ,
---  555 559
printed
- coil  197
- DFB resonator  200
probability density functions  891
probe
- FIB-milled  342
probe storage  901 907 908
- data organization  909
- operating parameters  909
probe tip  372
- characterization  611
- performance  374
probe-sample distance  457 462
probe-surface distance  455
process
- control  1088
- flow  1088
- gas  799
process coherence volume  887
processing conditions  44
prodrugs  298
product architecture  1088
production efficiency  47
programmable microfluidic systems
--- (sPROMs)  266
programmed assembler  1146
projection mode photolithography
---  186
propagation of cracks  524
properties of a coating  795
protection of sliding surface  831
protein  477
- bioactivity  294
- coupled to nanomaterials  294
- folding  293
- primary structure  293
- secondary structure  293
- synthetic chemistry  294
- tertiary structure  293
protofilament  673
prototyping of biological nanodevices
---  282
protrusion force  545 564
P-selectin glycoprotein ligand-1
--- (PSGL-1)  488
PSG (phosphorus-doped glass)
---  1117
Pt alloy tip  330
PTCDA  404
PTFE (polytetrafluoroethylene)
- coated Si-tip  640
- film  833
Pt-Ir
- tip  330
- wire cantilever  912
pull-hold-release cycle  485
pull-in  1072
- angle  1068
- charge  1064
- instability  956
- voltage  1062 1064 1067 1068,
---  1071 1075
pull-off force see adhesion force,
---  608 614 615 617 635 864
pulse-etching  379
pumping chamber  261
purified MWNT  378
pyramidal
- AFM tip  615
- etch  373
pyrazoline  16
pyrolysis of hydrocarbons  59
pyrolytic method  58
PZT (led zirconate titanate)
- actuated suspensions  967
- scanner  500
- tube scanner  328 334

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